Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение
Жанр: учебная и научная литература ,
техническая литература ,
учебники и пособия для вузов ,
технические науки ,
эксплуатация промышленного оборудования ,
книги для студентов и аспирантов ,
конструирование оборудования ,
физика плазмы ,
инженерно-техническая деятельность ,
магнетрон ,
знания и навыки Год написания книги: 2016
