Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
Автор:
Жанр:
Год написания книги: 2016
Тэги:
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
На сайте электронной библиотеки Litportal вы можете скачать книгу Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники в формате fb2.zip, txt, txt.zip, rtf.zip, a4.pdf, a6.pdf, mobi.prc, epub, ios.epub, fb3. У нас можно прочитать отзывы и рецензии о этом произведении.
