Юрий Борисович Цветков

Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниев…

Показаны роль и значимость учебников и учебных пособий в структуре учебно-методического обеспечения инженерного образования. Рассмотрены основные этапы их проектирования с учетом современных треб…