Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев
Автор:
Жанр:
Год написания книги: 2018
Тэги:
В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001.
На сайте электронной библиотеки Litportal вы можете скачать книгу Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев в формате fb2.zip, txt, txt.zip, rtf.zip, a4.pdf, a6.pdf, mobi.prc, epub, ios.epub, fb3. У нас можно прочитать отзывы и рецензии о этом произведении.
